GRYLLS-5901质量流量计由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
GRYLLS气体消耗测量 差压式质量流量计,0.5sccm – 6000 slm 全量程 采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年,准确度1.0%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定,可以同时显示和输出。
差压式气体质量流量计5910DD4用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
耐腐蚀质量流量计GRYLLS 6610与热式流量计不同,当使用气体转换系数时,没有附加的“比热容“误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。
格里尔斯5951微小流量质量流量计由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成,它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成
微小流量质量流量计质量流量控制器由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。
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