热式vs.压差式气体质量流量计：核心原理与适用场景分析

　　热式气体质量流量计基于热扩散原理，通过测量气体流经加热传感器时带走的热量变化直接计算质量流量，无需温压补偿。其核心优势在于对低流量（如mL/min级）和微小流量变化的高灵敏度，量程比可达1000:1，且压损可忽略，适合小管径、低流速场景。典型应用包括半导体制造中工艺气体（如氩气、氦气）的精准控制、医疗设备（如麻醉机、制氧机）的气体流量监测，以及环保领域烟道气排放的CEMS系统（避免差压式易堵塞问题）。此外，其直管段要求低（1-2D）、安装简便（可插入式安装），且支持数字通信，兼容工业4.0需求。

　　压差式气体质量流量计基于伯努利方程和哈根-泊肃叶定律，通过节流装置（如孔板、V锥）产生压差，结合温度、压力补偿间接推算质量流量。其核心优势在于高精度（±0.5%~1%Rd/S.P.）和宽动态范围（量程比200:1），适合全量程覆盖0.5sccm~5000slpm的场景。典型应用包括生物反应器供气、灭菌工艺蒸汽流量监控等对精度和重复性要求严苛的领域，以及燃料电池氢气流量控制、工业废气排放监测等高温、腐蚀性气体场景。此外，其内置多种气体数据库，支持混合气体一键切换，且校准周期长达2-3年，维护成本低。

　　对比与选型建议：

　　精度与量程：压差式在低流量（0.5sccm以下）精度更高，全量程覆盖能力更强；热式在低流速时灵敏度占优，但量程范围较窄。

　　介质适应性：压差式耐高温、耐腐蚀，可耐受液体渗入；热式传感器接触液体易损坏，不适用于脏污或高湿度介质。

　　响应速度与成本：热式响应更快（最快100ms），但长期稳定性受传感器老化影响；压差式响应时间≤700ms，但校准周期长，长期成本更低。

　　推荐场景：

　　半导体、医疗等对低流量精度要求高的场景，优先选热式；

　　生物制药、环保监测等需耐高温、耐腐蚀或混合气体测量的场景，优先选压差式。