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当前位置:首页 >产品中心>质量流量计>气体质量流量计>5910DD4差压式气体质量流量计

差压式气体质量流量计

简要描述:差压式气体质量流量计5910DD4用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

  • 产品型号:5910DD4
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-28
  • 访  问  量:93

详细介绍

品牌自营品牌价格区间面议
产品种类差压式介质分类液体
产地类别国产应用领域环保,化工,能源,电子

差压式气体质量流量计5910DD4用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器

黑龙江差压式气体质量流量计5910DD4产品参数:

量程范围

0.2~5kg/h

测控范围

流量计量程比100:1     控制器量程比50:1

准确度(满量程)

气体:±0.5.0%F.S、液体±0.25.0%F.S

稳定性

±0.1%F.S

重复精度

±0.05%F.S

响应时间

<0.2s

数字量

RS232/485,MODBUS协议

模拟量

0~5V、4-20mA、1~5V

供电

±15VDC,24VDC

工作温度

0~70℃

压力等级

100bar

最大耐压

3MPa/10MPa




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