GRYLLS-6601差压式质量流量计(大量程)由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
GRYLLS-5901质量流量计由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
浮子流量计采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
抗腐蚀质量流量计:采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
GRYLLS一体化多变量质量流量计,GRYLLS-62系列一体化流量计采用全参数动态补偿技术,一台仪表可代替差压,压力,流量,积算仪四台仪表。
热式气体流量计用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
微信公众号
移动端浏览