气体流量控制器支持数字量输入/输出,设备自体可带多功能触摸显示屏，亦可采用流量计算机控制和显示流量，可以提供带有可选配的多介质/多量程的功能。

GRYLLS 5950系列高精度质量流量控制器参数 0.5sccm – 6000 slm 全量程Grylls5950系列质量流量控制器支持数字量输入/输出,设备自体可带多功能触摸显示屏，亦可采用流量计算机控制和显示流量，可以提供带有可选配的多介质/多量程的功能。

GRYLLS格里尔斯气体测试质量流量控制器 采用热式原理，预热时间短，精度高，零飘小，管状分流，不易堵塞，适用于各种低压和高压管道，流量可达6000SLM,并可实现数字/模拟控制模式，产品采用高速控制算法，0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持数字量输入/输出,设备自体可带操控按键和显示屏。

Grylls格里尔斯热式质量流量控制器，热式原理， 0.5sccm – 6000 slm 全量程，支持数字量输入/输出,设备自体可带操控按键和显示屏，亦可采用流量计算机控制和显示流量，可以提供带有可选配的多介质/多量程的功能。预热时间短，精度高，零飘小，管状分流，不易堵塞，适用于各种低压和高压管道，流量可达6000SLM,并可实现数字/模拟控制模式。

格里尔斯质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

气体质量流量控制器采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。