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当前位置:首页 >产品中心>质量流量控制器>气体质量流量控制器>GRYLLS5900格里尔斯质量流量控制器

格里尔斯质量流量控制器

简要描述:格里尔斯质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制,在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

  • 产品型号:GRYLLS5900
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-29
  • 访  问  量:94

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
产品种类差压式介质分类气体&液体
产地类别进口应用领域环保,化工,石油,电子,综合

 格里尔斯质量流量控制器工作原理:

  气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司特别的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。

注意:

  质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气标定.

  质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)

  标准状态规定为: 温度-----273.15K (0℃);

  气压-----101325 Pa (760mm Hg)

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 格里尔斯质量流量控制器主要技术指标

1

  量程范围

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

2

  准确度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

3

  线性

  ±0.5~1.5%F.S

4

  重复精度

  ±0.2%F.S

5

  响应时间

  电特性:10sec 气特性:(1~4)sec

6

  工作压差

  0.1~0.5MPa

7

  耐压

  3MPa

8

工作环境温度

  0~70℃

9

  数字量

  RS485 MODBUS协议

10

  模拟量

  DC 0~5V ,4~20mA 可选

11

  供电

  DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA

12

  电气连接

  DB15

13

  漏率

  1×10\u001F-8SCCSHe

14

  底座材质

  316L不锈钢

15

  密封材质

  氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶

16

  气路接头

  Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞


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