GRYLLS数字量气体流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；

GRYLLS差压式液体流量控制器采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%F.S/年，准确度1.0%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定，可以同时显示和输出：瞬时 流量、累计流量、压力、温度等。

Grylls6600差压式质量流量控制器没有附加的“比热容“误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。

GRYLLS 6620差压式质量流量控制器产品特色：多气体系数切换V2.0 气体转换系数提供多种预置的气体系数转换：完整列表见操作手册附录。如果您需要的气体介质表列中没有，请联系我们。我们还可以校准各种复杂的气体混合物。

差压质量流量控制器由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路组成，采用数字信号输入输出，具有预热时间短，零漂小，可靠性高等特点。

Grylls6600差压式质量流量控制器与热式流量计不同，当使用气体转换系数时，Grylls6600没有附加的“比热容“误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。