当前位置:首页 >产品中心 >质量流量控制器>差压式质量流量控制器
相关文章
Related ArticlesGRYLLS数字量气体流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;
GRYLLS差压式液体流量控制器采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年,准确度1.0%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定,可以同时显示和输出:瞬时 流量、累计流量、压力、温度等。
Grylls6600差压式质量流量控制器没有附加的“比热容“误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。
GRYLLS 6620差压式质量流量控制器产品特色:多气体系数切换V2.0 气体转换系数提供多种预置的气体系数转换:完整列表见操作手册附录。如果您需要的气体介质表列中没有,请联系我们。我们还可以校准各种复杂的气体混合物。
差压质量流量控制器由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
Grylls6600差压式质量流量控制器与热式流量计不同,当使用气体转换系数时,Grylls6600没有附加的“比热容“误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。
移动端浏览