质量流量控制器,即MassFlowController（缩写为MFC）,不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量控制器可以准确地测量和控制系统中的流量。然而，在流量控制器的上下游，没有绝对的信心来确定流量是准确的。如果不采取任何对策，则不会将所需的确切流量传递给过程。随着流量的最小化，系统组件（如管道、过滤器和阀门）的相对内部体积似乎增加了。这会影响系统的动态，因为响应时间会减慢，导致直接控制的损失。
在许多低流量流体控制系统中，为了控制低流量，最薄弱的环节通常不是质量流量传感器。而是流体被气体压制，当气体夹在液体流中时，它可能以溶解气体或气泡的形式出现。在这两种情况下，它对平均质量流量没有显著影响。然而，气泡倾向于破坏流动的稳定性。通过快速准确的流量计可以监测效果。这种物理效应发生在任何具有溶解气体和下游压降的低液体流量系统中，与测量原理或控制阀类型无关。
