GRYLLS数字量气体流量控制器

GRYLLS数字量气体流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；

GRYLLS数字量气体流量控制器采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

产品应用:

玻璃行业、太阳能、大气监测、工业制作、石油石化、煤炭冶金、制气配气、环保、各种仪器分析

格里尔斯GRYLLS-5950系列模拟式质量流量计/控制器(低量程)技术参数:

技术指标GRYLLS-5950系列-FC质量流量控制器/GRYLLS-5950系列-FM 质量流量计

格里尔斯GRYLLS-5950系列模拟式质量流量计量程范围5SCCM ~ 30SLM

准确度±1.0%F.S

温度:±1℃

线性±0.5%F.S

重复精度±0.2%F.S

响应时间<2s<1.5s

模拟量0 ~ 5V、4 ~ 20mA

供电±15VDC,24VDC

工作温度0 ~ 50℃

工作压力工作压差:0.05 ~ 0.5MPa工作压降:<30Kpa

*耐压3MPa/10MPa

电气连接DB15 孔

漏率1×10-9SCCSHe

温度系数±0.015%F.S/℃

底座材质316L

密封材质氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶

接头φ3,φ6,1/8",1/4"