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GRYLLS通用型质量流量控制器,GRYLLS-31系列数字型质量流量计/控制器由质量流量传感器,层流分层件,流量控制器调节阀和放大控制电路组成,采用数字信号输入输出,具有预热时间短,零漂小,可靠性高等特点。
数字量气体流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
GRYLLS6601差压式质量流量计参数0.5sccm – 6000 slm 全量程采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年,准确度1.0%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定,可以同时显示和输出:瞬时 流量、累计流量、压力、温度等。
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