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科氏力气体质量流量控制器

简要描述:科氏力气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-29
  • 访  问  量:112

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
产品种类其他介质分类气体
产地类别进口应用领域化工,石油,能源,综合

科氏力气体质量流量控制器概述:

◆管状分流,不易堵塞
◆适用于各种低压和高压管道
◆预热时间短,零漂小,可靠性高
◆数字量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量


基本原理为:一根两端固定的薄壁测量管,在中点处以测量管谐振或接近谐振的频率(或其高次谐波频率)所激励,此时,在管内流动的流体产生科里奥利力,使测量管中点前后产生方向相反的挠曲,挠曲的大小与流体的质量流量成正比。因此,用光学或电磁学的方法检测测量管的挠曲量,就可以求得管内流体的质量流量。



应用行业

玻璃行业太阳能大气监测工业制作石油石化
煤炭冶金制气配气环保各种仪器分析


科氏力气体质量流量控制器参数:

量程范围100SCCM~30SLM
测控范围量程比50:1
准确度±1.0%F.S
线性±0.5%F.S
重复精度±0.2%F.S
响应时间<2s
数字量RS232/485,MODBUS协议
模拟量0~5V、4-20mA、1~5V
供电±15VDC,24VDC
工作温度0~50℃
工作压力工作压差:0.05~0.5Mpa
最大耐压3MPa/10MPa
电气连接DB15孔
漏率1×10-9SCCSHe
温度系数±0.025%F.S/℃
底座材质不锈钢
密封材质氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶
接头φ3,φ6,1/8",1/4"


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