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热式气体流量计

简要描述：热式气体流量计用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器

产品型号：5911DD4
厂商性质：生产厂家
更新时间：2023-12-25
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详细介绍

品牌	GRYLLS/格里尔斯	价格区间	面议
产品种类	差压式	介质分类	气体
产地类别	进口	应用领域	医疗卫生,环保,化工,石油,综合

5911DD4热式气体流量计主要技术指标

1	量程范围	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	准确度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	线性	±0.5~1.5%F.S
4	重复精度	±0.2%F.S
5	响应时间	电特性：10sec 气特性：（1~4）sec
6	工作压差	0.1~0.5MPa
7	耐压	3MPa
8	工作环境温度	0~70℃
9	数字量	RS485 MODBUS协议
10	模拟量	DC 0~5V ，4~20mA 可选
11	供电	DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
12	电气连接	DB15

5911DD4热式气体流量计优势：

其大的优点是能够直接地测量质量流量，而其他的仪器只能测量体积流量V锥流量计是一种的差压式流量计量装置，它以的边壁逐步收缩节流方式，一改传统节流装置的几乎所有的缺点，是差压流量计性成果St是雷诺数的函数，St=f（1/Re）质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成当了解了以上三个在选择质量流量控制器需要关注的地方中会明白，好的质量流量控制器不是单单只能进行稳定工作就可以的而是在稳定工作的同时还能将事情做到接近完善的程度，只有这样才能减小麻烦的发生率与出现情况的次数，也才能让客户进行平稳的收益与正常的工作流程不同类型的气体用来沉积一个新的玻璃层如空气、煤气、氨气等

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