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详细介绍
| 品牌 | GRYLLS/格里尔斯 | 价格区间 | 1-5千 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,石油,能源,制药/生物制药,综合 |
grylls多路气体质量流量控制器
高精度：典型精度 ±1% FS，重复性 ±0.2% FS
抗温压波动：直接测质量，气体膨胀 / 压缩不影响控制结果
信号接口：模拟量（0-5V /4-20mA）、数字通讯（RS485 Modbus）
量程跨度大：从几 sccm 微量到上千 SLM 大流量；可适配氮气、氩气、氧气、氢气、各类腐蚀性特种气体
响应快：通常几百 ms~ 数秒达到稳定流量
grylls多路气体质量流量控制器
半导体 / 光伏镀膜、CVD 金刚石、氢能、实验室催化反应、气相色谱、医疗、真空、锂电池、光纤、特种材料制备，多用于多种气体精准配比工艺
热式 MFC 对粉尘、油污敏感，易污染传感器，脏污气路需前置过滤器
每种气体有对应的转换系数，换气体需要重新标定
有最小 / 最大压差要求，进出口压差不足会控不稳
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