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详细介绍
| 品牌 | GRYLLS/格里尔斯 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,石油,综合,机械设备 |
气体质量流量控制器 MFC 精密控制仪表
质量流量测量：直接计量质量流量，无需温压补偿，抗管路压力、环境温度变化干扰；
控制精度高：典型精度 ±1% FS，重复性 ±0.2% FS，响应速度快，流量稳定；
量程覆盖广：小量程 sccm（毫升每分钟）到大量程 slm（升每分钟）可选；
多气体兼容：适配氮气、氩气、氧气、氢气、氦气、甲烷、硅烷等特种 / 腐蚀性气体（根据材质选型）；
多种通讯输出：模拟量 0-5V/4-20mA，数字 RS485、Modbus、Profibus 等；
材质可选：316L 不锈钢、哈氏合金等，可满足普通气体、高纯气体、腐蚀性气体工况；
低泄漏、高洁净：VCR / 卡套密封，可满足半导体、锂电等超高纯工艺要求。
MFC 作为精密气体流量控制仪表，控制稳定、响应快、无需温压补偿，实现工艺气体精准定量输送，保障实验重复性与产线工艺一致性，是精密气路系统的核心元器件。
气体质量流量控制器 MFC 精密控制仪表
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