气体质量流量控制器 MFC 精密流量调节

气体质量流量控制器 MFC 精密流量调节

核心产品特点

1. 宽量程覆盖：0.5SCCM～6000SLM，微小流量到大流量全覆盖，量程比最高可达 100:1，支持多气体切换，内置多种气体转换系数。

2. 高精度稳定控制：标准版精度 ±1% FS；5950 款可达 ±0.5% FS，重复性优秀，响应快、超调小，长期漂移低。

3. 气路材质：316L 不锈钢，低漏率，洁净度高，适配高纯气体工况。

4. 双模式信号：模拟量 4-20mA / 0-5V；数字 RS485 MODBUS 通讯，支持上位机 / PLC 远程控制；自带 LCD 显示屏 + 实体按键，本地直接设置流量、查看瞬时 / 累计流量。

5. 丰富接口：卡套、VCR 等可选，支持非标量程、特殊接口定制。

6. 适配介质：N₂、Ar、O₂、H₂、CO₂、He 及多种混合气，部分型号可适配弱腐蚀工艺气体。

7. 国产替代：性价比高，售后响应快，可替代进口 MFC 品牌。

基础技术参数

• 产品系列：5900（标准款）、5950（高精度旗舰款）、5930（大流量款）

• 测量原理：毛细管分流热式

• 精度：标准款 ±1% FS，高精度款 ±0.5% FS

• 流量范围：0.5SCCM ~ 6000SLM

• 供电：DC24V

• 通讯：4-20mA、0-5V、RS485 MODBUS

• 材质：316L 不锈钢气路

• 适用温度：10~50℃

• 阀门：内置比例电磁阀，闭环自动调节

典型应用场景

• 科研实验：实验室配气系统、真空管式炉、气相实验、气体配比柜

• 半导体 / 薄膜工艺：PECVD、PVD、等离子清洗、晶圆工艺供气

• 新能源：燃料电池、锂电烧结保护气控制

• 光伏、光学镀膜、环境监测、气体分析仪、手套箱惰性气体控制

气体质量流量控制器 MFC 精密流量调节