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GRYLLS 6600 差压式气体质量流量控制器产品PDF资料
发布时间:2022/6/28      点击次数:85

Grylls6600差压式质量流量控制器 参数0.5sccm – 6000 slm 全量程 Grylls6600差压式质量流量控制器采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年,准确度1.0%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定,可以同时显示和输出:瞬时 流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID 调节功能。

Grylls6600差压式质量流量控制器与热式流量计不同,当使用气体转换系数时,Grylls6600差压式质量流量控制器没有附加的“比热容"误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。


标准参数(有关选配项,请联系Grylls)

产品性能参数

Grylls6600系列差压式质量流量控制器

精度(调零后标准条件下)

± 1%Full Scale

传感器响应时间

<1 ms

重复性

± 0.2%Full Scale

零点漂移和满量程漂移

0.2%Full Scale /   ºCelsius / Atm

工作范围和量程比

2% to 100% Full   Scale / 50:1 (100:1 optional)

最大可控流量

100% Full Scale

最大可测流量

100% Full Scale

典型响应时间

<100 ms

压力精度(大于1大气压时)

±0.6% of reading

压力精度(小于1大气压时)

±0.1 PSIA

温度精度

±0.75°C







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