耐腐蚀气体流量计 酸碱介质适用 化工行业

耐腐蚀气体流量计 酸碱介质适用 化工行业

哈氏合金防腐流道定制，直接测量气体质量流量，不受温压波动影响。量程 0.5sccm~6000slm，高精度、快速响应，集成 PID 控制，支持模拟 / 数字通讯。适配各类腐蚀性工艺气体，用于锂电、半导体、化工微量气体测控，进口替代防腐气体 MFM/MFC。

耐腐蚀气体流量计针对腐蚀性特种气体工况定制开发，核心优势在于可按需选用哈氏合金流道搭配特种 PTFE 密封件，有效抵御硅烷、氯气、氟化类等强腐蚀介质侵蚀，避免普通不锈钢仪表出现流道腐蚀、泄漏、零点漂移等问题，大幅延长仪表使用寿命，降低产线停机与更换成本。仪表采用热式 / 差压双原理可选方案，差压款无热漂移，不受气体温度、压力波动干扰，直接测量气体质量流量，测量精度最高可达 ±0.5% FS，重复性 ±0.2% FS，宽量程比最高 100:1，微量气体测控稳定可靠。内置高速 PID 闭环调节与比例调节阀，流量响应迅速、超调量小，可实现精准配气与批次定量控制。本地液晶屏幕直观展示瞬时、累计流量，支持 4-20mA 模拟信号、RS485 Modbus 数字通讯，可快速对接 PLC、DCS 上位机自动化系统。整机紧凑型一体化结构，内部无易磨损活动部件，抗震性能好，安装便捷，维护周期长。作为国产替代方案，适配锂电负极、半导体刻蚀沉积、精细化工、光伏、燃料电池等强腐蚀工艺场景，在严苛工艺环境下保障供气配比一致性，减少因仪表腐蚀带来的工艺波动、产品不良与安全隐患，为腐蚀性气体精密测控提供高性价比稳定解决方案。