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如何解决质量流量控制器出现偏差的问题

发布时间:2022-07-11      点击次数:62
  质量流量计是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于低值(0.1MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。那么如果质量流量控制器出现流量偏差是一件非常严重的事情,因此当出现偏差的问题我们需及时的解决,今天跟大家浅谈质量流量控制器出现流量偏差的解决方法;
  一、检查出现偏差方法
  1.零点是否有漂移,首先需接通电源,质量流量控制器信号为0的情况下,则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号;
  2.气体是否纯净,如果盘路有污染,那么流量就肯定会收到影响,这个时候可以用高纯N2多次清扫,如果还是不能解决则需要找专业维修中心接受A/S;
  3.质量流量控制器前端压力是否发到标定压力,如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。
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