气体质量流量控制器的工作原理是当气体流过感应管时，会使用毛细管传热温差量热法的原理来测量气体的质量流量。使用要求：
1.气体质量流量控制器所在气路气源要安装减压阀对整体气路进行减压处理。气体质量流量控制器压力过小可能造成气源不足，导致实际流量到达不了设定值流量；压力如果过大，会使气体质量流量控制器的层流传感器处于过载状态，有可能造成传感器精度损失或者造成传感器损坏。
2.气体质量流量控制器前端要配置截止阀、过滤器、干燥器等配件，其中截止阀可有效阻断气源对气体质量流量控制器的压力冲击，对气体质量流量控制器内部的层流传感器起到保护作用；过滤器、烦躁器可确保进入气体质量流量控制器的气体是纯净、干燥的气体，如果气源杂质、水汽含量较大，会形成结垢物质，堵塞流道，从而导致层流传感损坏或者精度出现较大偏差。
3.气体质量流量控制器后端要配置单向阀或隔膜阀以防止后端气体压力过大，气体回流到气体质量流量控制器中。在单向阀和隔膜阀后端配置截止阀，防止气体质量流量控制器阀门关不严或在使用的过程中突然出现问题导致气体质量流量控制器阀门不受控制。
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